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作环境改善设施
品名 规格 单位 保有数 备注
      VERTICAL SCRUBBER 200CMM SET 1 集尘器
      BLOWER 250mmAq SET 1  
      FAN

EA 2  
      切割室 20㎡ 等 LOT 1  
      局部排气 DUCT   LOT 1  
      电动式排气FAN   EA 2