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作环境改善设施
品名
规格
单位
保有数
备注
VERTICAL SCRUBBER
200CMM
SET
1
集尘器
BLOWER
250mmAq
SET
1
FAN
EA
2
切割室
20㎡ 等
LOT
1
局部排气 DUCT
LOT
1
电动式排气FAN
EA
2